白光干涉仪_厦门尼科仪器设备有限公司

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白光干涉仪

可实现精确的亚纳米表面轮廓非接触式测量。尼康独有的扫描式光学干涉测量技术实现了1皮米(pm)的高度分辨率。尼康提供多种光学显微镜作为测量系统,以适应广泛的测量应用。
测量精度&重复性尼康BW系列产品具有很高的高度解析能力和重复测量精度,美国VLSI公司生产的8.9nm台阶是世界上目前被认证的最小高度标准样,其扩展不确定度为0.6nm,而尼康BW白光干涉仪经过十次测量结果全部在扩展不确定度范围内,且标准偏差为0.03nm。