技术知识

计量仪器知识

您的当前位置:首页>技术知识

探针卡的检查和测量

2020-06-04 浏览次数:358来源:本站原创

探针卡

探针卡是电子测试系统与半导体晶片之间的机械接口。先进的探针卡可以仅接触一次就完成一个12“晶圆的测试。卡上的上千探针需要在三轴方向上( X,Y和Z)同步运动并以高精密度的微小误差和晶片接触。由于这一要求,探针尖端的位置和几何形状对探针卡的测试功能是否正常至关重要。针对这些复杂的测量,一个稳定和高度精准的平台是非常有必要的。

系统挑战
传统的检验方法受到以下缺点的限制:
•需要在高倍率下才能对小尺寸探针进行测量
•探针尖端的微小位移会对测量造成困难
•探针位置的随机性分布使得编写测量程序变得困难和耗时
•从程序编写到最终完成检测,费时费力

尼康的解决方案NEXIVVMZ-R3020  视觉系统与自动测量软件
•高钢性铸铁结构于三轴方向上安置了0.01um的高解析度光栅尺
•对高精密性零件测量,倍率选项从1080倍到4320倍皆可
•"自动位置寻找"功能可以适应针尖位移所造成的不良影响
•影像自动对焦与同轴激光功能,用于精确的Z-高度测量.
•从"CAD导入程序"功能,可以减少程序教导时间从几小时缩短到几分钟


技术支持:港湾有巢

920167946

闽公网安备 35020502000158号

闽ICP备10012139号